一种平面三自由度柔顺精密定位平台

摘要

本发明是一种平面三自由度柔顺精密定位平台，包括输出平台、基座、三个柔顺机构、三个压电驱动器、三个驱动器定位装置、三个位移传感器和控制器。本发明由于三个柔顺机构以及三个位移传感器沿输出平台中心向外呈120°角分布，保证了运动传递的无间隙、无摩擦、免润滑、高精度性和高稳定性，并且提高了输出平台移动的直线度；由于采用了柔顺机构，不仅使得输出平台能同时提供X、Y方向平移，Z方向旋转，而且使得输出平台和基座都在同一层次上；采用压电陶瓷驱动器作为压电驱动器，保证了驱动源的高精度运动输出和快的响应速度，具有纳米级的分辨率和亚微米级的定位精度。本发明可广泛应用于精密定位领域。

主权项

1.一种平面三自由度柔顺精密定位平台，包括输出平台、基座，其特征在于还包括三个柔顺机构、三个压电驱动器、三个驱动器定位装置、三个位移传感器和控制器，所述输出平台与基座通过三个柔顺机构连接，每个压电驱动器通过一个驱动器定位装置与基座相连，每个压电驱动器的前端与一个柔顺机构之间有间隙或紧靠着，通过调节压电驱动器的调节螺栓可以调节压电驱动器和柔顺机构之间的间隙和作用力；每个位移传感器通过一个传感器定位装置与基座相连，每个位移传感器的探头与输出平台的边缘接触；三个柔顺机构以及三个位移传感器沿输出平台中心向外呈120°角分布；所述控制器与三个压电驱动器及三个位移传感器相连。