真空排气系统及其监视·控制方法

摘要

本发明提供一种可以延长寿命、提高生产效率的真空排气系统。包括：具有多个监视区域的排气泵系统(2)；分别设在监视区域上的分别独立地检测监视区域中的排气泵系统(2)的状态的传感器(101、102、103……、104)；分别设在监视区域中加热器(201、202、203……、204)；分别接收来自传感器(101、102、103、……、104)的数据信号(D₁、D₂、D₃、……、D_m)，比较该数据信号与阈值，当来自特定的传感器的数据信号超过了阈值时，只向配置了特定的传感器的监视区域的加热器选择性地供给加热用电力的监视·控制装置(1)。

主权项

1.一种真空排气系统，它是以规定一定的排气方向的方式连接多个排气要素的一群的排气系统，其特征在于，至少包括：含在多个排气要素的一群中的特定的排气要素；与该特定的排气要素的吸气侧配管连接的第一阀；在该第一阀上连接一方的排气侧配管的分支真空配管；与该分支真空配管的另一方的排气侧配管连接的第二阀；在该第二阀上连接了吸气侧配管的旁路配管；在特定的排气要素的排气侧配管上连接了一方吸气侧配管、在上述旁路配管的排气侧配管上连接了另一方吸气侧配管的另外的排气要素；与上述特定的排气要素的吸气侧配管、上述特定的排气要素的排气侧配管及上述特定的排气要素的本体中的至少一个连接的传感器；接收来自该传感器的数据信号，比较该数据信号与阈值，当数据信号超过阈值时，将关闭第一阀、打开第二阀的信号分别供给第一及第二阀的监视·控制装置。