| 发明名称 | 一种氧化锌材料的化学刻蚀方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种氧化锌材料的化学刻蚀方法，该方法包括以下步骤：首先制作氧化锌材料的掩模，然后通过三氯化铁水溶液或含三氯化铁的酸溶液进行刻蚀。上述刻蚀方法中，由于采用三氯化铁溶液作为刻蚀剂，因此可保证刻蚀表面平整，并且只需改变三氯化铁溶液的浓度，就可以在保证刻蚀表面平整的前提下，得到不同的刻蚀速率，操作非常简单；而且，还可通过控制刻蚀时间来控制刻蚀深度。 | ||
| 申请公布号 | CN1644764A | 申请公布日期 | 2005.07.27 |
| 申请号 | CN200510002695.8 | 申请日期 | 2005.01.26 |
| 申请人 | 中国科学院物理研究所 | 发明人 | 郑浩;杜小龙;薛其坤;顾长志 |
| 分类号 | C23F1/02;C23F1/14;C23F1/16 | 主分类号 | C23F1/02 |
| 代理机构 | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 尹振启 |
| 主权项 | 1、一种氧化锌材料的化学刻蚀方法，其特征在于：包括以下步骤：首先制作氧化锌材料的掩模，然后通过三氯化铁水溶液或含三氯化铁的酸溶液进行刻蚀。 | ||
| 地址 | 100080北京市海淀区中关村南三街8号 | ||