蚀刻液回收系统与方法

摘要

本发明公开一种蚀刻液回收系统，包括：蚀刻槽，用以进行蚀刻反应，且蚀刻反应形成含杂质的废液；蚀刻液供应装置，用以供应蚀刻液至蚀刻槽；杂质移除装置，用以接收来自蚀刻槽的废液并移除废液中的杂质，以形成回收蚀刻液；以及混酸与浓度调整装置，用以对回收蚀刻液进行混酸与浓度调整步骤。

主权项

1.一种蚀刻液回收系统，包括：一蚀刻槽，用以进行一蚀刻反应，且该蚀刻反应形成一含杂质的废液；一蚀刻液供应装置，是供应一蚀刻液至该蚀刻槽；一杂质移除装置，是接收该废液并移除该废液中的杂质，且形成一回收蚀刻液；以及一混酸与浓度调整装置，是对该回收蚀刻液进行一混酸与浓度调整步骤。