用于等离子体RF源的度量的多速率处理

摘要

一种RF发生器被提供用于RF等离子体系统中。该RF发生器包括：在一个调谐频率上产生RF功率信号的功率源；适合于检测该RF功率信号并且产生表示该RF功率信号的模拟信号的传感器单元，其中该模拟信号包括所需的频率成分和多个干扰频率成分；以及适合于从该传感器单元接收模拟信号并且把该模拟信号频带限制在一个预定带宽内的传感器信号处理单元，其中该预定带宽通过所需的频率成分，并且排除干扰的频率成分。

主权项

1.一种位于RF等离子体系统中的RF发生器，其中包括：在一个可调频率范围内的一个调谐频率上产生RF功率信号的功率源；适合于检测该RF功率信号并且产生表示该RF功率信号的模拟信号的传感器单元，该模拟信号具有与该功率源的调谐频率相关的所需的频率成份；以及适合于从该传感器单元接收模拟信号并且把该模拟信号频带限制在一个预定带宽内的传感器信号处理单元，其中该信号处理单元的预定带宽可调节，以通过所需的频率成份，并且排除干扰的频率成份。