| 发明名称 |
COATED OPTICAL ELEMENT FOR CORRECTIVE ACTION OBTAINED BY PRODUCING LAYER THICKNESS VARIATIONS OR BY REFRACTION FACTOR VARIATIONS IN SAID COATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003290093(A1) |
申请公布日期 |
2004.07.14 |
| 申请号 |
AU20030290093 |
申请日期 |
2003.12.18 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
ALEXANDRA PAZIDIS;AKSEL GOHNERMEIER;ALEXANDER DINGER;THOMAS PETASCH;THURE BOHM;RAINER BORRET;GERD REISINGER |
| 分类号 |
C23C14/58;G02B1/10;G03F7/20;(IPC1-7):G02B1/10;G02B3/04;C23C14/54 |
主分类号 |
C23C14/58 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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