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发明名称 SPUTTER APPARATUS HAVING REAL-TIME SURFACE RESISTANCE MEASURING FUNCTION
摘要
申请公布号 KR20050073665(A) 申请公布日期 2005.07.18
申请号 KR20040001504 申请日期 2004.01.09
申请人 BOE HYDIS TECHNOLOGY CO., LTD. 发明人 CHO, JIN HUI;BIN, JIN HO;JANG, JONG HO
分类号 H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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