具有不同闸电极介电层之半导体元件及其制造方法

摘要

一种半导体元件，系由第一与第二电晶体构成。第一电晶体含有一第一基底区域、一第一闸极电极以及一第一闸极介电质。第一闸极介电质是介于第一基底区域与第一闸极电极间。第二电晶体含有一第二基底区域、一第二闸极电极以及一第二闸极介电质。第二闸极介电质是介于第二基底区域与第二闸极电极间。而第一闸极介电质包括具有8或更高的介电常数之一第一高介电常数层。同样地，第二闸极介电质也包括具有8或更高的介电常数之一第二高介电常数层。第二高介电常数层具有不同于第一高介电常数层的一材料组成。