发明名称 | 改良之电极板用之方法与设备 | ||
摘要 | 一种电极板,耦合于一电浆处理系统之中的一电极,系包含复数之气体注入孔,用以收纳气体注入装置。电极板系包含三个或更多之安装孔,其中藉由使三个或更多之安装孔与装设于电极之上的三个或更多之安装螺丝对齐并使两者耦合而使电极板耦合于电浆处理系统之中的电极。 | ||
申请公布号 | TW200524035 | 申请公布日期 | 2005.07.16 |
申请号 | TW093133184 | 申请日期 | 2004.11.01 |
申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 史提芬T 纷克;艾瑞克J 史传;麦可 蓝帝斯 |
分类号 | H01L21/3065 | 主分类号 | H01L21/3065 |
代理机构 | 代理人 | 周良谋;周良吉 | |
主权项 | |||
地址 | 日本 |