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发明名称
喷雾洗净装置及其控制方法
摘要
在运转冷冻装置中设定将喷雾洗净生成气体的供给中断的喷雾洗净待机状态,达成喷雾洗净生成时间的短缩及氩气体及氮气体的消耗量降低。
申请公布号
TW200524027
申请公布日期
2005.07.16
申请号
TW093100802
申请日期
2004.01.13
申请人
住友重机械工业股份有限公司
发明人
宗像昭彦;高梨今日子
分类号
H01L21/304;B08B3/02
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
日本
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