| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung von Aberrationen in einem optischen System |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60103964(T2) |
申请公布日期 |
2005.07.14 |
| 申请号 |
DE20016003964T |
申请日期 |
2001.12.04 |
| 申请人 |
ASML MASKTOOLS B.V., VELDHOVEN |
发明人 |
CHEN, JANG FUNG |
| 分类号 |
G01M11/02;G03F1/08;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G01M11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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