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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Polieren
摘要
申请公布号 DE69729779(T2) 申请公布日期 2005.07.14
申请号 DE19976029779T 申请日期 1997.11.19
申请人 KAWASAKI, SHUJI;MATSUSHITA, AKITAKA;BBF YAMATE CORP., HAMAMATSU 发明人 KAWASAKI, SHUJI;MATSHUSHITA, AKITAKA
分类号 B24B1/00;B24B29/00;B24B29/02;B24B31/00;B24B31/02;B24B31/06;B24B31/14;B24B57/02;B24D13/20;(IPC1-7):B24B29/00 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
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