发明名称 |
Verfahren zur Inspektion eines Wafers |
摘要 |
Mithilfe von Hellfeld- und/oder Dunkelfeldbeleuchtung können Defekte auf einem Wafer (26) erkannt werden. Dabei hat die auf den Wafer (26) einfallende Strahlung einen wesentlichen Einfluss auf die Zuverlässigkeit des Messergebnisses. Zur Verbesserung der Zuverlässigkeit des Messergebnisses wird der Wafer (26) mit einer Beleuchtungseinrichtung (12) beleuchtet, wobei die Einstellung der Beleuchtungseinrichtung (12), insbesondere deren Helligkeit und Frequenz, unter Einbeziehung von ausgelesenen, gespeicherten Beleuchtungssollwerten erfolgt. Diese Beleuchtungssollwerte werden durch eine vorangegangene Referenzmessung ermittelt.
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申请公布号 |
DE10359722(A1) |
申请公布日期 |
2005.07.14 |
申请号 |
DE20031059722 |
申请日期 |
2003.12.19 |
申请人 |
LEICA MICROSYSTEMS SEMICONDUCTOR GMBH |
发明人 |
KREH, ALBERT;BACKHAUSS, HENNING;MICHELSSON, DETLEF |
分类号 |
G01N21/95;(IPC1-7):G01N21/47;G01N21/88;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/95 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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