| 发明名称 |
Improvements relating to ion implantation and instabilities |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2409928(A) |
申请公布日期 |
2005.07.13 |
| 申请号 |
GB20040000485 |
申请日期 |
2004.01.09 |
| 申请人 |
* APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
MAJEED * FOAD;BERNARD FRANCIS * HARRISON;MARVIN * FARLEY;PETER * KINDERSLEY;STEPHEN * WELLS;TAKAO * SAKASE;GEOFFREY * RYDING |
| 分类号 |
H01L21/265;G21K5/10;H01J37/302;H01J37/304;H01J37/317;H01L21/425;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/304 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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