| 发明名称 | 压电膜元件及其制造方法和液体吐出头 | ||
| 摘要 | 提供一种压电膜元件及其制造方法和液体吐出头。在作为例如液体吐出头的振动板的基体(11)上，形成由阳极氧化等形成的多孔硅等的多孔层(12)，在其上外延生长单晶薄膜(13)。在单晶薄膜(13)上层叠下电极(14)、压电膜(15)、上电极(16)，通过加热处理使压电膜(15)单晶化或成为高取向的多晶体，通过夹有多孔层(12)，可以缓和由基体(11)和压电膜(15)之间的热膨胀差造成的应力。 | ||
| 申请公布号 | CN1636728A | 申请公布日期 | 2005.07.13 |
| 申请号 | CN200410082102.9 | 申请日期 | 2004.12.15 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 中西宏一郎 |
| 分类号 | B41J2/045;B41J2/135;B41J2/01 | 主分类号 | B41J2/045 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 岳耀锋 |
| 主权项 | 1.一种压电膜元件，其特征在于包括：基体；在该基体上形成的多孔层；在该多孔层上形成的单晶或单一取向性的薄膜；以及在该薄膜上形成的压电膜。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||