光刻装置

摘要

提供一种光刻装置，包括：在基板上涂覆抗蚀剂的涂胶机；存放从涂胶机提供的基板的第一缓冲器；对从第一缓冲器提供的基板进行烘焙的烘焙器；转动从烘焙器提供的基板的第一转台；使基板与涂胶机、第一缓冲器、烘焙器以及第一转台相互通信的第一传送器；对从第一转台提供的基板进行曝光的曝光机；对从曝光机提供的基板上的抗蚀剂进行显影的显影机；以及使得基板与第一转台、曝光机以及显影机相互通信的第二传送器。

主权项

1.一种光刻装置，包括：一在基板上涂覆抗蚀剂的涂胶机；一存放从涂胶机提供的基板的第一缓冲器；一对从第一缓冲器提供的基板进行烘焙的烘焙器；一转动从烘焙器提供的基板的第一转台；一使基板与涂胶机、第一缓冲器、烘焙器以及第一转台相互通信的第一传送器；一对从第一转台提供的基板进行曝光的曝光机；一对从曝光机提供的基板上的抗蚀剂进行显影的显影机；以及一使基板与第一转台、曝光机以及显影机相互通信的第二传送器。