发明名称 |
场致发射背板 |
摘要 |
一种场致发射背板(12g),通过激光结晶基于非晶半导体的材料区域而形成。发射器位置(20g)产生于结晶工艺所引起的粗糙表面纹理。使用激光干涉方法可以使结晶局部化,成形的发射器尖端(20j)在局部结晶区域(18j)上生长。这样背板可以用于场致发射元件,其在真空中或宽带隙发光聚合物中发射。而且,带有自动对准栅的背板(12m)可以通过在发射器尖端上沉积绝缘层(38m)和金属层(40m),去除金属层顶部并蚀刻去绝缘体,保留由金属边环绕的每个尖端而形成。可以使用平面剂(39n)来改进这个工艺。 |
申请公布号 |
CN1639820A |
申请公布日期 |
2005.07.13 |
申请号 |
CN02815760.5 |
申请日期 |
2002.08.09 |
申请人 |
敦提大学校董事会 |
发明人 |
默文·约翰·罗斯;拉维·席尔瓦;约翰·香农 |
分类号 |
H01J1/30;H01L21/20;H01J1/312;H01J9/02 |
主分类号 |
H01J1/30 |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
刘晓峰 |
主权项 |
1、一种形成场致发射背板的方法,包括:在衬底上提供基于非晶半导体的材料的平面体;至少在部分基于非晶半导体的材料上进行激光结晶;其中当结晶基于非晶半导体的材料时,形成多个发射器位置。 |
地址 |
英国敦提 |