| 发明名称 | 基板处理装置的运行方法 | ||
| 摘要 | 基板处理装置(10)设有基板输送室(12)，通过水平移动机构使存储有以垂直或实质上垂直状态支承基板的基板支承托架中一个基板支承托架的存储托架(301)以及存储了(2)个基板支承托架的存储托架(302)移动至基板输送位置，在该位置处，能够进行基板支承托架在基板处理室(16)以及加载锁定腔室(20，22)的室组中任意室彼此之间的输入或输出移动，在基板处理装置中的一个加载锁定腔室中产生故障的情况下，不使用与故障相关的加载锁定腔室，继续使基板支承托架在这些室之间移动。 | ||
| 申请公布号 | CN1639856A | 申请公布日期 | 2005.07.13 |
| 申请号 | CN03804739.X | 申请日期 | 2003.02.26 |
| 申请人 | 安内华股份有限公司 | 发明人 | 高桥信行 |
| 分类号 | H01L21/68;B65G49/06;B65G49/00 | 主分类号 | H01L21/68 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 何腾云 |
| 主权项 | 1.一种基板处理装置的运行方法，该基板处理装置设有：基板支承托架，存储所述基板支承托架的基板输送室，对所述基板支承托架支承的基板实施处理的基板处理室，在大气气氛下以及真空气氛之间进行基板输入和输出的多个加载锁定室，并且在该基板处理装置中，经所述基板输送室，在所述基板处理室和所述加载锁定室之间进行所述基板支承托架的移动，其特征在于：在所述基板处理装置的一部分产生故障的情况下，利用剩余的正常工作的部分，继续进行所述基板支承托架在所述室彼此之间的移动。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||