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发明名称
Apparatus for substrate cleaning of Liquid Crystal Display
摘要
申请公布号
KR100500685(B1)
申请公布日期
2005.07.12
申请号
KR20010029093
申请日期
2001.05.25
申请人
发明人
分类号
G02F1/13;B08B3/02;B08B15/04;G02F1/1333;H01L21/00;(IPC1-7):G02F1/13
主分类号
G02F1/13
代理机构
代理人
主权项
地址
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