发明名称 矽控整流器
摘要 一种矽控整流器,包括第一导电型基底、二第二导电型深井区、闸极、第一源极/汲极、第二源极/汲极、第一导电型掺杂区以及第一导电型浮接掺杂区。其中,第二导电型深井区系有间距地配置在第一导电型基底中。闸极系配置于第一导电型基底上,并位于二第二导电型深井区之间。第一及第二源极/汲极分别配置在二第二导电型深井区之表面。第一导电型掺杂区系配置在第一导电型基底的表面,而第一导电型浮接掺杂区系与第一源极/汲极相邻地配置在第二导电型深井区之中,以与第一源极/汲极构成等效齐纳二极体,使此矽控整流器具有高维持电压之特性。
申请公布号 TWI236129 申请公布日期 2005.07.11
申请号 TW093109340 申请日期 2004.04.05
申请人 华邦电子股份有限公司 发明人 曾仁洲
分类号 H01L23/60;H01L29/68 主分类号 H01L23/60
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 1.一种矽控整流器,包括: 一第一导电型基底; 二第二导电型深井区,有间距地配置于该第一导电 型基底中; 一闸极,配置于该第一导电型基底上,并位于该些 第二导电型深井区间; 一第一源极/汲极,配置于该些第二导电型深井区 其中之一中,并位于该闸极之一侧; 一第二源极/汲极,配置于该些第二导电型深井区 其中之另一中,并位于该闸极之另一侧; 一第一导电型掺杂区,配置于该第一导电型基底中 ;以及 一第一导电型浮接掺杂区,与该第一源极/汲极相 邻地配置于该些第二导电型深井区之一中,其中当 驱动该矽控整流器时,该第一导电型浮接掺杂区系 处于浮接状态。 2.如申请专利范围第1项所述之矽控整流器,其中该 第一导电型浮接掺杂区为P型浮接掺杂区,该些第 二导电型深井区为N型深井区,该第一导电型基底 为P型基底,且该第一导电型掺杂区为P型掺杂区,而 该第一与第二源极/汲极为掺有N型掺质之源极/汲 极。 3.如申请专利范围第1项所述之矽控整流器,其中该 第一导电型浮接掺杂区为N型浮接掺杂区,该些第 二导电型深井区为P型深井区,该第一导电型基底 为N型基底,且该第一导电型掺杂区为N型掺杂区,而 该第一与第二源极/汲极为掺有P型掺质之源极/汲 极。 4.如申请专利范围第1项所述之矽控整流器,更包括 多数个隔离结构,配置于该些第二导电型深井区与 该闸极以及该第一导电型掺杂区之间。 5.如申请专利范围第1项所述之矽控整流器,更包括 多数个第二导电型掺杂延伸区,配置于该第一导电 型基底中,并与该些第二导电型深井区相邻。 6.如申请专利范围第5项所述之矽控整流器,其中该 第二导电型掺杂延伸区为N型掺杂延伸区。 7.如申请专利范围第5项所述之矽控整流器,其中该 第二导电型掺杂延伸区为P型掺杂延伸区。 8.如申请专利范围第1项所述之矽控整流器,更包括 多数个第一导电型掺杂延伸区,配置于该第一导电 型基底中,并与该些第一导电型掺杂区相邻。 9.如申请专利范围第8项所述之矽控整流器,其中该 第一导电型掺杂延伸区为P型掺杂延伸区。 10.如申请专利范围第8项所述之矽控整流器,其中 该第一导电型掺杂延伸区为N型掺杂延伸区。 图式简单说明: 图1系绘示一般静电放电保护电路的电路配置方块 示意图。 图2系绘示一种HVNMOS电晶体之剖面示意图。 图3系绘示图2之HVNMOS电晶体的电压-电流特性曲线 图。 图4绘示习知具有埋入式矽控整流器之HVNMOS的剖面 示意及其等效电路图。 图5系绘示本发明一较佳实施例的一种矽控整流器 之剖面示意以及等效电路图。 图6系绘示本发明另一实施例的一种矽控整流器之 剖面示意以及等效电路图。
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