| 发明名称 |
FABRICATION METHOD OF SILICON CARBON-NITRIDE MICROSTRUCTURES USING PDMS MOLD FOR HIGH-TEMPERATURE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM APPLICATIONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050072332(A) |
申请公布日期 |
2005.07.11 |
| 申请号 |
KR20040000723 |
申请日期 |
2004.01.06 |
| 申请人 |
DONGSEO EDUCATIONAL FOUNDATION |
发明人 |
CHUNG, GWIY SANG |
| 分类号 |
B81B7/02;(IPC1-7):B81B7/02 |
主分类号 |
B81B7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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