DEVICE FOR THE CONFOCAL OPTICAL SCANNING OF AN OBJECT

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum konfokalen optischen Abtasten eines Objekts, mit einer optischen Einrichtung (6) zur Erzeugung eines ersten Fokus (13) eines eingekoppelten optischen Strahls (1) in einer ersten Ebene (30), einem ersten Spiegel (10) mit einer zentralen Apertur (11) für den Durchtritt des optischen Strahls (1) von einer Rückseite des ersten Spiegels (10), einem zweiten Spiegel (12), der dem ersten Spiegel (10) gegenüber so angeordnet ist, dass der von der Rückseite durch die Apertur (11) des ersten Spiegels (10) hindurch tretende optische Strahl (1) auf den ersten Spiegel (10) reflektiert wird. Die Vorrichtung zeichnet sich dadurch aus, dass der erste Spiegel ein Hohlspiegel (10) und der zweite Spiegel (12) ein um zumindest eine Achse kippbarer Spiegel ist, durch dessen Verkippung ein Bereich einer objektebene (20) mit dem optischen Strahl (1) abtastbar ist, und dass die optische Einrichtung (6) und der Hohlspiegel (10) so aufeinander abgestimmt sind, dass der optische Strahl (1) nach Reflektion am Hohlspiegel (10) konfokal zum ersten Fokus (13) in der objektebene (20) einen zweiten Fokus (14) bildet. Die vorliegende Vorrichtung lässt sich auf einfache Weise herstellen und sowohl zur scannenden punktweisen Beleuchtung eines Objekts als auch zum scannenden punktweisen Abtasten des Objekts einsetzen.