| 发明名称 |
Kontaktlose Prüfung von Anschlusspuffern auf einem Wafer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69824226(T2) |
申请公布日期 |
2005.07.07 |
| 申请号 |
DE19986024226T |
申请日期 |
1998.03.26 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS |
发明人 |
WHETSEL, LEE D. |
| 分类号 |
G01R31/28;G01R31/317;G01R31/3185;G11C29/00;G11C29/48;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/265;G06F11/267;G01R31/318 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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