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发明名称 Procédé de formation de zones conductrices à la surface de corps isolants ou semiconducteurs
摘要
申请公布号 FR1309064(A) 申请公布日期 1962.11.09
申请号 FR19620883630 申请日期 1962.01.02
申请人 RAYTHEON COMPANY 发明人
分类号 C23C18/16;H01L21/288 主分类号 C23C18/16
代理机构 代理人
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