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发明名称
METHOD OF GROWING NITRIDE SEMICONDUCTOR THIN FILM HAVING SMALL DEFECTS
摘要
申请公布号
KR20050069315(A)
申请公布日期
2005.07.05
申请号
KR20030101283
申请日期
2003.12.31
申请人
LG ELECTRONICS INC.
发明人
SHIN, JOHNG EON
分类号
H01L21/205;H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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