发明名称 SEMICONDUCTOR MASK HAVING PATTERNS WITH ISOLATED SPACE AND METHOD FOR MAKING SUCH PATTERNS
摘要
申请公布号 KR20050069450(A) 申请公布日期 2005.07.05
申请号 KR20030101567 申请日期 2003.12.31
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 LEE, JUN SEOK
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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