氢化物气体的纯化方法

摘要

从不纯氢化物气体中除去污染物的纯化物质，包含负载在多孔载体上的经还原的金属氧化物和乾燥剂。多孔载体可以选自活性碳、氧化铝、氧化矽、沸石、氧化矽铝、氧化钛、氧化锆及其混合物。经还原的金属氧化物可以包括选自第I族硷金属(锂、钠、钾、铷和铯)，第Ⅱ族硷土金属(镁、钙、锶和钡)和过渡金属(锰、镍、锌、铁、钼、钨、钛、钒、钴和铑)中的一种或多种金属。乾燥剂可以选自吸湿的金属盐、沸石、单金属氧化物、混合金属氧化物及其混合物。