改变薄膜之蚀刻选择性之方法

摘要

一种图案化结晶薄膜之方法。在一第一区域及一第二区域内提供一具有一包括第一原子之退化晶格(degenerate lattice)之结晶薄膜。掺杂物取代该第一区域中之该等第一原子，以在该第一区域内形成一非退化结晶薄膜。将该第一区域及该第二区域曝露至一湿蚀刻剂，其中该湿蚀刻剂蚀刻该第二区域内之退化晶格而不蚀刻该第一区域内之非退化晶格。