摘要 |
本发明提供具有简易且正确地形成微小共振器构造之显示装置。本发明之显示装置为具备有多数像素,藉由2种以上之波长的射出光进行彩色显示之显示装置,各像素具备:形成于基板侧之下部反射膜(110),形成于下部反射膜(110)上方的上部反射膜(240),以及形成于该下部反射膜(110)与该上部反射膜之间之微小共振器构造,于下部反射膜(110)及上部反射膜(240)间狭设有机发光元件层(120)。下部反射膜(110)系由金属薄膜所构成,在其与有机发光元件层(120)之间具备有作为第1电极(200)作用之导电性共振间隔物层。该导电性共振间隔物层系根据射出波长改变ITO之透明导电性金属氧化物层与SiNx等之光透过层(210)的积层数或残留数而改变厚度。该厚度系以下层之多结晶ITO作为蚀刻停止层而从多结晶ITO上选择除去上层之非晶质ITO层或SiNx层,并依照成膜残留之ITO层或SiNx层之厚度改变其厚度,以使发光光由上述微小共振器构造增强后射出外部。 |