摘要 |
一种继电器,其包括形成于一绝缘件上之一流道、一个或多个形成于流道之一端或两端的腔室、沿上述流道分布的多个电极、封闭在上述一个或多个腔室内受热膨胀遇冷收缩的气体、形成于上述一个或多个腔室内的加热或冷却装置、以及封闭于上述流道内的导电液。这种设计使上述至少两个电极之一端与封闭于上述流道内的导电液金属接触,而其他电极之一端根据上述加热冷却装置的导通或关断使上述气体膨胀或收缩从而与流动在上述流道内的导电液接触或不接触。此外,利用微机电系统技术形成流道、电极和腔室以及同时制造多个继电器晶片以期成本的降低。 |