晶圆边缘检测器

摘要

一种检测晶圆平边偏移之方法。晶圆平边确认设备500具有二感测器506a与感测器506b，其中感测器506a与感测器506b位于晶圆制造装置之具电力供应器的控制电路600中。感测器506a与感测器506b检测晶圆平边位置从所需位置之偏移，并中断晶圆制造装置。