化学气相沈积装置

摘要

本发明涉及一种化学气相沈积装置，其包括有一炉管、一环绕该炉管之炉管加热装置、及连接该炉管之一反应气体进气装置、一保护气体进气装置、以及一抽气装置，该炉管加热装置分为三加热段，该三加热段可各自独立工作。本发明通过调节该三加热段之温度来弥补由于反应气体不均引起之沈积速率不同，达到能于基材上均匀沈积产物之目的。