气体淋板、电浆处理装置、及制品之制造方法

摘要

配置在气体淋板(Shower Plate)上的气体排出孔的每单位面积的配置数目，随着远离气体淋板的中心而增加，或者气体排出孔的孔的半径随着远离气体淋板的中心而增大，藉此来使电浆激励气体流均一化，以对被处理基板进行均一的处理。