| 摘要 |
本发明提供测定头用位置调整装置及非接触型电阻率测定装置，其用以使测定头正确地扫描于检查试样之表面上，以防止检查试样之破损。其中测定头用位置装置包括：头位置调整手段，其调整测定头(16)与检查试样(17)之间隔(12)；透明基准板(13)，其设计成与测定头(16)一体且与检查试样(17)之表面平行，并间接显示测定头(16)和检查试样(17)之表面的间隔；头间隔监视手段(14)，其射出检查光，同时入射基准板(13)之反射光与检查试样(17)之反射光并比较该等反射光，以监视测定头(16)和检查试样(17)表面之间隔；以及控制手段(15)其根据头间隔监视手段(14)的检测值，驱动头位置调整手段(12)，以将测定头(16)与检查试样(17)的表面之间隔调整为设定值。头间隔监视手段(14)包含检测出反射光之入射位置的线性图像感测器。 |
