发明名称 Silicon optical bench for packaging optical switch device, optical switch package and method for fabricating the silicon optical bench
摘要
申请公布号 KR100499273(B1) 申请公布日期 2005.07.01
申请号 KR20020064259 申请日期 2002.10.21
申请人 发明人
分类号 H01L31/12;G02B6/35;G02B6/36;(IPC1-7):H01L31/12 主分类号 H01L31/12
代理机构 代理人
主权项
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