| 发明名称 |
SUSPENSION DE OXIDO DE CERIO PARA PULIR, PROCEDIMIENTO PARA PERPARAR LA SUSPENSION Y PROCEDIMIENTO PARA PULIR USANDO LA SUSPENSION. |
| 摘要 |
Una suspensión de óxido de cerio para pulido, suspensión que comprende óxido de cerio dispersado en agua, en la que la suspensión tiene una conductividad de 30c.S/cm o menos cuando la concentración de óxido de cerio en la suspensión es de c% en peso. |
| 申请公布号 |
ES2235540(T3) |
申请公布日期 |
2005.07.01 |
| 申请号 |
ES19990959933T |
申请日期 |
1999.12.21 |
| 申请人 |
SHOWA DENKO KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
KIDO, TAKANORI;SANBAYASHI, MASAYUKI;TSUJINO, FUMIO;ICHIKAWA, KAGETAKA |
| 分类号 |
B24B37/00;C09C1/68;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C09G1/02 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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