MICROMIRROR ARRAY

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft Mikrostrukturtechnologien und insbesondere Mikrospiegelanordnungen. Um als Fassadenelement für Gebäude im Vergleich großflächig im Bereich von Quadratdezimetern und größer mit geringen Kosten hergestellt werden zu können, wird vorgeschlagen, die gesamte Mikrospiegelanordnung als modulweise replizierbares, flächenhaftes, architektonisch verwendbares Bauelement (12) herzustellen, bei dem die Steuerelektronik, die die Logik enthält, welche Spiegelelemente wie angesteuert werden sollen, zentral in einem dedizierten, entfernt (remote) gelegenen Steuergerät (18) vorgesehen ist, von dem aus ein Addressierungsnetzwerk (26, 28) zur Ansteuerung der einzelnen Spiegelelemente oder Module (12) ausgeht, das weitgehend in Form von gedruckten Leitungen in den flächenhaften Modulen bereits bei ihrer Herstellung integriert vorgesehen ist. Damit fällt die Notwendigkeit weg, in dem Fassadenelement selbst teure, siliziumbasierte Chiptechnologie zu implementieren. Desweiteren werden zur Herstellung der Mikrospiegelanordnungen selbst wesentlich billigere Materialien als hochreines Silizium verwendet. Daraus ergeben sich Herstellungskosten, die zumindest in derselben Größenordnung liegen wie andere, herkömmliche, hochwertige Fassadenelemente.