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发明名称 Verfahren zur Herstellung eigenspannungsfreier reflektierender optischer Schichtsysteme auf Substraten
摘要
申请公布号 DE10126038(B4) 申请公布日期 2005.06.30
申请号 DE20011026038 申请日期 2001.05.21
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 YULIN, SERGEY;FEIGL, THORSTEN;KUHLMANN, THOMAS;KAISER, NORBERT
分类号 C23C14/06;C23C14/58;C23C26/00;C23C28/00;G02B5/08;G02B5/26;G02B5/28;(IPC1-7):G02B1/10 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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