发明名称 Improvements in or relating to methods of manufacturing semiconductor devices
摘要
申请公布号 GB1103729(A) 申请公布日期 1968.02.21
申请号 GB19650027396 申请日期 1965.06.29
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 H01L21/3063;H01L21/308 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
主权项
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