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发明名称 Plasma generation
摘要
申请公布号 GB2393321(B) 申请公布日期 2005.06.29
申请号 GB20020008007 申请日期 2002.04.06
申请人 * GENCOA LIMITED 发明人 VICTOR * BELLIDO-GONZALEZ
分类号 C23C14/34;H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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