一种微型压力传感器及其制备方法

摘要

一种微型压力传感器，包括光纤布喇格光栅和压力形变体，光纤布喇格光栅和压力形变体柔性地连接在一起，其制备方法如下：根据待测情况，进行形变体的尺寸设计；计算柔性铰链和弹片设计参数；加工形变体；将光栅固定在形变体侧面。当本发明的弹片受到的横向压力时产生形变，弹片的活动端点顶到FBG的中心点，由于FBG的两端固定在刚性薄片上，从而使FBG沿纵向产生张力，这样就将作用于光纤横向的压力转化为垂直于压力方向的作用力，这个作用力施加于FBG造成其产生纵向的应变，引起FBG反射波长变化，使得受到的横向压力和光栅的反射波长之间发生关系，最终达到测量的目的。本发明具有分辩率高、重复性好、响应时间短、测量范围大、器件小型化等特点，适用于各种需要压力测量尤其是对传感器尺寸和结构有苛刻要求的应用环境。

主权项

1、一种微型压力传感器，包括光纤布喇格光栅和压力形变体，其特征在于将光纤布喇格光栅和压力形变体柔性地连接在一起。