发明名称 |
PADLESS STRUCTURE DESIGN FOR EASY IDENTIFICATION OF BRIDGING DEFECTS IN LINES BY PASSIVE VOLTAGE CONTRAST |
摘要 |
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申请公布号 |
SG112004(A1) |
申请公布日期 |
2005.06.29 |
申请号 |
SG20030007742 |
申请日期 |
2003.11.06 |
申请人 |
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD. |
发明人 |
SONG ZHIGANG;SHAILESH REDKAR;CHONG-KIAM OH |
分类号 |
G01R31/307;(IPC1-7):G01R31/307 |
主分类号 |
G01R31/307 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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