真空镀膜工艺过程的自动检测方法

摘要

本发明提供了一种真空镀膜工艺过程自动检测的控制方法，该方法采用工艺检测回路，自动检测推入真空室体的蒸发源工件转架，并实现自动执行和切换蒸发电源的工艺过程，完全消除了蒸发源损坏，全炉工件报废的事故发生；本发明整个检测过程利用计算机软件控制执行，安全可靠、操作方便。

主权项

1、一种真空镀膜工艺过程的自动检测方法，其特征在于：先根据蒸发源的材料、连接方式在蒸发回路中设定一个电流门限值，并让蒸发电源在极短的时间内输出小电压值，使检测回路电流值与电流门限值比较，若检测回路电流值大于电流门限值，则确定推入室体的是该蒸发源的工件转架，并自动执行该蒸发源的工艺过程；若检测回路电流值小于电流门限值，则确定推入室体的不是该蒸发源的工件转架，并自动执行蒸发电源的切换。