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发明名称
摘要
申请公布号
JP3664432(B2)
申请公布日期
2005.06.29
申请号
JP20000146012
申请日期
2000.05.18
申请人
发明人
分类号
H01L23/12;H01L21/02;H01L21/301;(IPC1-7):H01L23/12
主分类号
H01L23/12
代理机构
代理人
主权项
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