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发明名称 METHOD FOR IN-SITU MONITORING OF PATTERNED SUBSTRATE PROCESSING USING REFLECTOMETRY
摘要
申请公布号 EP1546649(A1) 申请公布日期 2005.06.29
申请号 EP20030785199 申请日期 2003.08.12
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 VENUGOPAL, VIJAYAKUMAR, C.;PERRY, ANDREW, J.
分类号 G01B11/02;G01B11/06;G01N21/00;G01N21/27;G01N21/45;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/334;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):G01B11/06;H01L21/66 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
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