发明名称 METHOD FOR FORMING DUAL DAMASCENE PATTERN OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050064331(A) 申请公布日期 2005.06.29
申请号 KR20030095689 申请日期 2003.12.23
申请人 MAGNACHIP SEMICONDUCTOR, LTD. 发明人 SHIN, DAE UNG
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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