| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050063650(A) |
申请公布日期 |
2005.06.28 |
| 申请号 |
KR20040031358 |
申请日期 |
2004.05.04 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
OKITA YOICHI;WATANABE JUNICHI;SASHIDA NAOYA |
| 分类号 |
H01L27/105;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/326;H01L21/479;H01L21/82;H01L21/8246;(IPC1-7):H01L27/105 |
主分类号 |
H01L27/105 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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