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经营范围
发明名称
System zur Prozessüberwachung von Schichtdicken
摘要
申请公布号
DE69534214(D1)
申请公布日期
2005.06.23
申请号
DE19956034214
申请日期
1995.10.31
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人
SHIOKAWA, AKIRA;YASUI, HIDEAKI;KOTERA, KOICHI;MUKAI, YUUJI;TANAKA, HIROYOSHI;HIRAO, TAKASHI
分类号
C23C14/54;G01N21/31;(IPC1-7):G01N21/31
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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