发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING CAPACITOR HAVING DIELECTRIC STACKED ALUMINIUM OXIDE AND HAFNIUM OXIDE
摘要
申请公布号 KR20050062099(A) 申请公布日期 2005.06.23
申请号 KR20030093770 申请日期 2003.12.19
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 SONG, HAN SANG
分类号 H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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