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发明名称
METHOD FOR MANUFACTURING CAPACITOR HAVING DIELECTRIC STACKED ALUMINIUM OXIDE AND HAFNIUM OXIDE
摘要
申请公布号
KR20050062099(A)
申请公布日期
2005.06.23
申请号
KR20030093770
申请日期
2003.12.19
申请人
HYNIX SEMICONDUCTOR INC.
发明人
SONG, HAN SANG
分类号
H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108
主分类号
H01L27/108
代理机构
代理人
主权项
地址
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