发明名称 HALBLEITER-DRUCKSENSOR
摘要
申请公布号 DE69917943(T2) 申请公布日期 2005.06.23
申请号 DE19996017943T 申请日期 1999.02.15
申请人 YAMATAKE CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 YONEDA, MASAYUKI;HONDA, NOBUAKI;FUKIURA, TAKESHI;NAGASAKI, SHOJI
分类号 G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/06;H01L21/322;H01L29/84 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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